● 涂鍍層檢測<br />
● 成分分析<br />
● RoHS檢測<br />
全新上照式設(shè)計，保留原有四焦技術(shù)同時，搭載全自動大行程移動平臺和影像識別功能，既能檢測納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區(qū)ROHS檢測及全元素成分分析，無論是一個還是一批樣測試都能實現(xiàn)精準、快速、有效。
性能優(yōu)勢
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● 微聚焦X射線裝置
搭載微聚焦加強型X射線發(fā)生器和“四焦一體”光路系統(tǒng)，最小測量面積可達0.03mm²
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● 一機多用、精檢精測
各裝置高度集成，不分散、不弱化光強，能夠完全兼顧ROHS、全元素分析、各種大小異形涂鍍層樣品的快速精準檢測
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● 變焦裝置及位置補償算法
可對各種異形凹槽件進行無損檢測，可測凹槽深度范圍：0-90mm
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● 數(shù)十秒完成納米級的薄金鍍層測量
最佳的設(shè)計，實現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度即使在微小準直器下，也能夠大幅度地提高膜厚測量的精度
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● 自主研發(fā)的EFP算法
Li(3)-U(92)元素的涂鍍層，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精確測量
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典型行業(yè)應(yīng)用
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氫能源行業(yè)
Pt/PE...
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晶圓
Au/硅片...
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新能源行業(yè)
NiP/Fe、鋁膜...
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航天航空
Au/Ni/FeNi...
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技術(shù)參數(shù)
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型號
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XAD-200
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涂鍍層分析
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可同時分析23個鍍層，24種元素，不同層有相同元素也可分析，可檢測Li（3）- U（92）涂鍍層90種元素
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RoHS分析
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有害元素檢測（RoHS、鹵素）
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成分分析
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用于各種合金及貴金屬等物質(zhì)中Al（13）-U（92）的80種元素成分分析
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EFP算法
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標(biāo)配
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軟件操作
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人性化封閉軟件，自動判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作
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分析時間
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1-200秒
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信號及接收
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標(biāo)配DPP+FAST SDD
（可選配Si-Pin半導(dǎo)體探測器或大面積DPP+FAST SDD）
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X射線裝置
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微聚焦加強型射線管
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準直器
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標(biāo)配：0.1*0.3mm;φ0.3mm;φ1.2mm;φ3mm（可選配：φ0.2mm;φ0.5mm;φ1.2mm;φ3mm）
（四準直器自動切換）
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微光聚焦技術(shù)
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最近測距光斑擴散度小于10%
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濾光片
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集成嵌入式多濾光片切換裝置
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測量距離
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具有距離補償功能，可改變測量距離測量凹凸異形樣品，可測凹槽深度范圍：0-90mm
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對焦方式
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激光對焦，精確定位
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儀器尺寸
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深760mm*寬535mm*高635mm
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Z軸移動范圍
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145mm
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樣品臺移動
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全自動高精密XY平臺
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可移動范圍
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240mm*210mm
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儀器重量
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120KG
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其他附件
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電腦一套、打印機、附件箱、十二元素片、RoHS標(biāo)準片、標(biāo)準片、電鍍液測量杯（選配）
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X射線標(biāo)準
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DIN ISO 3497、ASTM B 568
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400-850-1617